КОМПОНЕНТЫ ВАККУМНОЙ ТЕХНИКИ

PBN ТИГЛИ

ООО «ГИРМЕТ» предлагает  тигли из пиролитического нитрида бора (рBN) для использования при выращивании особо чистых полупроводниковых кристаллов и осаждения слоев из этих материалов.  Тигли  из нитрида бора являются прочными, чистыми и стабильными  (как химически, так термически) контейнерами и обеспечивают длительные рабочие циклы в большинстве применений. Полная их совместимость с элементами групп III-V и II-VI, а также с их соединениями, такими  как арсенид и фосфид галлия, КРТ и другие, была продемонстрирована в процессах очистки, синтеза и монокристаллического роста.  Кроме того, при этом легко достигается высокая  температурная однородность расплава, помещенного в тигле, так как теплопроводность материала тигля в 20 раз больше ( при 1500 °С) вдоль поверхности, чем через стенки. Предлагаются тигли различной формы и размера для различных применений :  тигли для роста монокристаллов по методу Чохральского,  вертикального Бриджмена, для синтеза поликристаллов, тигли для MПЭ (молекулярно пучковой эпитаксии) для различных типов установок, тигли для вакуумного испарения металлов и тигли для распыления электронным пучком . Тигли могут быть изготовлены по чертежам и спецификации заказчика

Si₃N₄ и SiC ТИГЛИ

Композиционная керамика на основе нитрида кремния
(реакционно-спеченный нитрид кремния)
Тигли для литья и плавки металлов, сопла для сварочных горелок, закладные изделия для печей, форсунки, изоляторы и др.
СВОЙСТВА КОМПОЗИЦИОННОЙ КЕРАМИКИ

Параметр	Значение
Плотность (г/см3)	2,76
Модуль Юнга (ГПа)	250 +/- 30 (регулируемый)
Прочность при изгибе (МПа)	185 +/- 10 (максимальная)
Твердость (ГПа)	16
Термический коэффициент расширения, х10-6/°С	1.8 – 5.4 (регулируемый)
Теплопроводность (Вт/мК)	12 +/- 10
Максимальная рабочая температура (°С)	1400

Керамические тигли для плавки и литья  цветных металлов и их сплавов в печах сопротивления и в индукционных печах при температуре не выше 1400°С.
Материал тигля - керамика на основе нитрида кремния: матрица из нитрида кремния, содержит также оксинитрид  кремния, оксид кремния и оксид алюминия; покрытие внутренней поверхности тигля антиадгезионным составом на основе двуокиси кремния.
Компоненты тигля не вступают во взаимодействие с литейными материалами, а также с материалом флюса (бура или борная кислота), термостойкость
Преимущества по сравнению с графитовыми тиглями: высокая стойкость к трещинообразованию, не разрушается на воздухе, не меняет свои первоначальные размеры, т.е. может работать значительно дольше (увеличенный в несколько раз ресурс).
Преимущество в сравнении с горячепрессованной керамикой из нитрида кремния: лучшая формируемость изделий и, следовательно, более низкая себестоимость.

Сопло для сварной горелки
Высокие диэлектрические свойства, пониженная (по сравнению с корундом) смачиваемость каплями свариваемых металлов, стойкость к ударам, термостойкость, максимальная рабочая температура 1400°С