МИШЕНИ ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Мишени из Кремния(Si)

Чистота, % вес.	99.999 – 99.9999
Удельное сопротивление, ОМ*см	Низкоомные: 0.002 – 0.015 Высокоомные: >10

Формы мишеней: прямоугольные, торические, пластины, диски, а также сложные конструкции со стыковыми соединениями под любым углом наклона. Возможно также нанесение металлического покрытия для напайки на подложку.

Кремниевые мишени, Сплав Кремний Алюминий, Изделия из Кремния Мишени Низкоомные Высокоомные 0,02 Ом*см 10 Ом*см

Кремниевые пластины


	Диаметр: до 150 мм Типы поверхности: - резаные; - шлифованные; - полированные. Легирование: B, P, Sb и As. Соответствуют стандартам SEMI.